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技術(shù)文章

擴(kuò)散硅壓力變送器的概述

發(fā)布日期:2018-01-01 22:25

 
 
  壓力傳感器是壓力變送器中將壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)的關(guān)鍵器件。 擴(kuò)散硅式壓力變送器的敏感元件是擴(kuò)散硅壓力傳感器,通常帶有不銹鋼隔離膜片將測(cè)量介質(zhì)與硅片隔離開(kāi)。其特點(diǎn)是輸出靈敏度較高,價(jià)格較貴。 陶瓷式壓力變送器的敏感元件是陶瓷壓力傳感器,有陶瓷膜片與測(cè)量介質(zhì)隔離。其特點(diǎn)是抗腐蝕能力較強(qiáng),價(jià)格低,輸出靈敏度低。 使用時(shí)可跟據(jù)測(cè)量介質(zhì)的種類(lèi)和量程選用。
 
  擴(kuò)散硅壓力變送器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備、石油、化工、冶金、電力等控制領(lǐng)域,它是利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
 
  使用擴(kuò)散硅壓力變送器時(shí)的注意事項(xiàng)
 
  1.溫度補(bǔ)償,擴(kuò)散硅式壓力傳感器是半導(dǎo)體,半導(dǎo)體具有很強(qiáng)的溫度特性,沒(méi)有溫度補(bǔ)償,測(cè)量誤差可能會(huì)比較大。
 
  2.擴(kuò)散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚,千萬(wàn)不能觸碰。
 
  3.供電電壓要穩(wěn)定,傳感器內(nèi)部實(shí)際就是一個(gè)電橋,供電電壓波動(dòng)會(huì)引起橋路輸出變化,影響測(cè)量精度。
 
  4.要在額定電壓內(nèi)使用,過(guò)壓會(huì)導(dǎo)致傳感器損壞。
 
  5.輸出端不要短路
 
 
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